(1) 電気系修理項目
コンピュータボード、コントローラーPCBサポート、パワーサプライ、モータPCBボード、計測器の校正、レーザー(He-Ne,Ar,UV,エキシマ、YAG,DPY,etc)、RFジェネレーター、マッチングボックス、各種温調器(チラー)


(2) 機械系修理項目
ディスペンス・ポンプ、スピン・モータ、ゲート・バルブ、スロットル・バルブ、アングル・バルブ、ディスペンス・チャンバー、インデクサー、トランスポート・アッセンブリー、マスフローコントローラー、アクチュエーター、ロボット